极薄氧化物/6H-SiC结构的电学和光学性质研究

Pincik E, Kobayashi H, Madani M, Rusnak J, Takahashi M, Mikula M, Brunner R

冶金分析 ›› 2011, Vol. 31 ›› Issue (12) : 15-20.

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研究报告与工作简报

极薄氧化物/6H-SiC结构的电学和光学性质研究

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On electrical and optical properties of very thin oxide/6H-SiC structures

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