聚焦离子束在半导体器件加工及飞行时间二次离子质谱联用元素分析中的应用

汪林俊

doi:10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013162

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冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (1) : 72-79. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013162

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聚焦离子束在半导体器件加工及飞行时间二次离子质谱联用元素分析中的应用

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Application of focused ion beam in semiconductor device processing and elemental analysis coupled with time-of-flight secondary ion mass spectrometry

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收稿日期	出版日期
2025-12-01	2026-01-28
发布日期
2026-05-28

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