基于聚焦离子束系统的高精仪器设备可持续运行管理探索

付琴琴, 范传伟, 秦元斌, 张朋诚, 郭朝维, 单智伟

冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (5) : 89-94.

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冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (5) : 89-94. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013115

基于聚焦离子束系统的高精仪器设备可持续运行管理探索

  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Exploration on sustainable operation and management of high precision instrument and equipment based on focused ion beam system

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2026, 46(5): 89-94 https://doi.org/10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013115
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2026, 46(5): 89-94 https://doi.org/10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013115
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{{article.reference}}

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