立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究

王永清; 杨永旺; 万真真; 申玉民; 刘庆学

doi:10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.010507

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冶金分析 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (1) : 8-14. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.010507

立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究

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Study on excitation test of micro inductively coupled plasmaexcitation source with three-dimensional spiral coil

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收稿日期	出版日期
2018-08-17	2019-01-28
发布日期
2018-08-17

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