聚焦离子束在芯片封装中的应用

蒋亮

冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (3) : 9-17.

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冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (3) : 9-17. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013158

聚焦离子束在芯片封装中的应用

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Application of focused ion beam in chip packaging

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