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| 微型等离子体光谱仪激发源的研究与进展 |
| 王永清;王占友;周颖昌;李小佳;王海舟; |
| 河北大学电子信息工程学院;钢铁研究总院,国家钢铁材料测试中心;钢铁研究总院国家钢铁材料测试中心; |
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摘要 微型化、集成化是光谱仪器发展的重要趋势之一。激发源的微型化对研发微型光谱仪器至关重要。本文以微等离子体的产生方式为主线,详细阐述了微型直流等离子体激发源(M-DCPS)、微型电感耦合等离子体激发源(M-ICPS)和微波开口环谐振器式等离子体激发源(M-SRRPS),给出了这些激发源的相关数据参数,并对其装置和原理做了简要的叙述。同时对这些激发源的优缺点及其参数指标作了简要的评述。简要介绍了其他微等离子激发源,探讨了微等离子体激发源潜在的应用领域,并展望了微等离子体激发源的发展趋势。
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| 关键词 ：
光谱仪,
微型,
等离子体,
激发源
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出版日期: 2010-01-30
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通讯作者:
王永清;
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