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| 电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅中18个痕量元素 |
| 杨毅;刘英波;王劲榕;李菁菁; |
| 昆明冶金研究院; |
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摘要 建立了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)对光伏用多晶硅中B,Cu,Fe,Al,K,Ca,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,As,Mo,W,Cd,Pb共计18个可能共存的杂质元素同时定量测定的方法。以硝酸、氢氟酸分解多晶硅试样,称重法确定加入试剂的量。采用动态反应池(DRC)技术,在池内引入氨气(NH3)作为反应气体来消除质谱干扰。在选定的条件下,被测元素的检出限为0.8~6.9 pg/g(3σ),样品的加标回收率在83.0%~106%之间,相对标准偏差(RSD)为0.27%~2.7%(n=11)。所建立的分析方法实现了对光伏用多晶硅样品中痕量元素的全分析,实际样品的测定结果与参考值相符。
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| 关键词 ：
电感耦合等离子体质谱法,
动态反应池,
多晶硅,
痕量元素
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出版日期: 2009-11-30
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通讯作者:
杨毅;
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