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| 基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展 |
| 王永清;马雯;王海舟;李小佳;娄建中; |
| 钢铁研究总院,河北大学电子信息工程学院,钢铁研究总院,钢铁研究总院,河北大学电子信息工程学院 北京100081,河北大学电子信息工程学院,河北保定071002,河北保定071002,北京100081,北京100081,河北保定071002 |
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摘要 结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势。
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| 关键词 ：
微电子机械系统技术,
微机械加工技术,
微型光谱仪,
研究,
进展
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出版日期: 2006-08-30
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| 基金资助:河北省教育厅科研项目(No.2004408) |
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通讯作者:
王永清;
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