聚焦离子束技术的材料科学新征程:从微纳加工到多模态联合表征

乔祎, 李时磊, 王岩华

冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (1) : 1-23.

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冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (1) : 1-23. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013177
综述

聚焦离子束技术的材料科学新征程:从微纳加工到多模态联合表征

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Focused ion beam technology in materials science: From micro/nanofabrication to multimodal correlative characterization

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