聚焦离子束-双束扫描电子显微镜在硅基芯片缺陷与失效分析中的应用

刘辰; 陈振; 陆裕东; 吕金昊; 蒋亮; 张翠媛; 潘憬

doi:10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013164

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冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (1) : 80-86. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013164

芯片制造

聚焦离子束-双束扫描电子显微镜在硅基芯片缺陷与失效分析中的应用

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Application of focused ion beam dual-beam scanning electron microscope in defect and failure analysis of silicon-based chip

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收稿日期	出版日期
2025-12-01	2026-01-28
发布日期
2026-05-28

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