面向FIB-SEM纳米结构测量的规则图形几何先验增强边缘检测算法

王旭星, 曹振丰, 孙巍, 邱婷婷, 王贤浩, 张晓会, 杨明来, 王英

冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (1) : 95-106.

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冶金分析 ›› 2026, Vol. 46 ›› Issue (1) : 95-106. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013159
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面向FIB-SEM纳米结构测量的规则图形几何先验增强边缘检测算法

  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Geometric prior enhanced edge detection algorithm for regular pattern measurement in FIB-SEM nanostructure

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2026, 46(1): 95-106 https://doi.org/10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013159
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2026, 46(1): 95-106 https://doi.org/10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.013159
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{{article.reference}}

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